基本信息:
- 专利标题： 一种低温沉积激光雷达视窗导电减反膜的制备方法
- 申请号：CN202410129442.X 申请日：2024-01-30
- 公开(公告)号：CN117966105A 公开(公告)日：2024-05-03
- 发明人： 廖生君 , 桂美毅 , 吴忠平 , 卢梦飞
- 申请人： 福建富兰光学股份有限公司
- 申请人地址： 福建省福州市仓山区建新镇金山大道618号桔园洲工业园25栋
- 专利权人： 福建富兰光学股份有限公司
- 当前专利权人： 福建富兰光学股份有限公司
- 当前专利权人地址： 福建省福州市仓山区建新镇金山大道618号桔园洲工业园25栋
- 代理机构： 福州旭辰知识产权代理事务所
- 代理人： 程春宝
- 主分类号： C23C14/30
- IPC分类号： C23C14/30 ; C23C14/02 ; C23C14/08 ; C23C14/10
摘要：
本发明涉及激光雷达技术领域，特别是一种低温沉积激光雷达视窗导电减反膜的制备方法，所述导电减反膜包括设置在激光雷达视窗顶部的加强结合膜层，所述加强结合膜层的顶部设置有透明导电膜层，所述透明导电膜层的顶部设置有调节反射率膜层，所述调节反射率膜层的顶部设置有防水膜层；所述方法包括以下步骤：步骤S1、使用超声波清洗机对激光雷达视窗进行清洗，然后进行烘烤处理；步骤S2、将激光雷达视窗放进真空电子束蒸发镀膜机中，在激光雷达视窗表面依次沉积加强结合膜层、透明导电膜层、调节反射率膜层以及防水膜层；本发明能够制备出的导电减反膜具有可以使用低温沉积，无需高温退火，高温下电阻值稳定的优点。