基本信息:
- 专利标题： 清洁工装及光栅在线清洁方法
- 申请号：CN202410177041.1 申请日：2024-02-08
- 公开(公告)号：CN117884412A 公开(公告)日：2024-04-16
- 发明人： 曹凯 , 李腾飞 , 皇甫鹏飞
- 申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 专利权人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人： 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 代理机构： 北京荟英捷创知识产权代理事务所
- 代理人： 贾晓敏
- 主分类号： B08B3/02
- IPC分类号： B08B3/02 ; B08B5/02 ; B08B13/00
摘要：
本发明提供一种清洁工装及光栅在线清洁方法，涉及光栅清洗技术领域。该清洁工装包括移动台和清洁组件，清洁组件包括承载座和设于承载座的去污喷嘴、清洗喷嘴和吹扫气嘴，去污喷嘴、清洗喷嘴和吹扫气嘴三者的输入口均连通有连通管路，且各连通管路均设有驱动泵；移动台设有驱动组件，驱动组件的驱动端连接于承载座，用于驱动承载座移动。该清洁工装能够对光刻机的光栅模块进行在线清洁处理，无需拆装光栅，从而提高光栅模块的清洁处理效率，降低光栅模块的维护成本，并减少光栅拆装过程可能造成的碰撞损坏、延长光栅的使用寿命。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B08 | 清洁 |
| ----B08B | 一般清洁；一般污垢的防除 |
| ------B08B3/00 | 使用液体或蒸气的清洁方法 |
| --------B08B3/02 | .用喷射力来清洁 |