基本信息:
- 专利标题： 影响带电粒子射束的静电装置
- 申请号：CN202280055666.X 申请日：2022-07-01
- 公开(公告)号：CN117882155A 公开(公告)日：2024-04-12
- 发明人： 王宣祁
- 申请人： 维亚梅姆斯技术股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚
- 专利权人： 维亚梅姆斯技术股份有限公司
- 当前专利权人： 维亚梅姆斯技术股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚
- 代理机构： 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理人： 边海梅
- 优先权： 63/230,810 20210808 US
- 国际申请： PCT/US2022/036031 2022.07.01
- 国际公布： WO2023/018496 EN 2023.02.16
- 进入国家日期： 2024-02-08
- 主分类号： H01G4/01
- IPC分类号： H01G4/01 ; H01L21/02
摘要：
本发明中的静电器件包含围绕绝缘掩埋层的顶部硅层和底部硅层。带电粒子射束能够从射束开口中穿过。器件被电绝缘层包封。一个或多个电极和接地平面沉积在绝缘层的表面。这些也覆盖射束开口的内部。电极和接地平面之间通过微型沟渠和微型底切而物理和电分离，在导电区域沉积过程中，这些微型沟渠和底切提供遮罩效应。电极可以被成形为狭长的岛并且可以包括由支撑锚支撑并悬垂在顶部硅层上的部分。制造可以开始含有顶部层、掩埋层和底部层的单个晶圆，也可开始于两个分离的硅晶圆。制造包含形成顶部和底部射束开口及微型结构、将器件包封在绝缘层中以及沉积电极和接地区域的步骤。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01G | 电容器；电解型的电容器、整流器、检波器、开关器件、光敏器件或热敏器件 |
| ------H01G4/00 | 固定电容器；及其制造方法 |
| --------H01G4/002 | .零部件 |
| ----------H01G4/005 | ..电极 |
| ------------H01G4/01 | ...自持电极的形成 |