基本信息:
- 专利标题： 一种具有沟槽形支撑层的FBAR传感器
- 申请号：CN202311650218.7 申请日：2023-12-05
- 公开(公告)号：CN117824824B 公开(公告)日：2024-10-29
- 发明人： 钱征华 , 季宸昊 , 钱智 , 李鹏 , 朱峰 , 赵庆国
- 申请人： 南京航空航天大学 , 江苏捷凯电力器材有限公司
- 申请人地址： 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 专利权人： 南京航空航天大学,江苏捷凯电力器材有限公司
- 当前专利权人： 南京航空航天大学,江苏捷凯电力器材有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 代理机构： 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
- 代理人： 何健雄
- 主分类号： G01H11/08
- IPC分类号： G01H11/08 ; H03H9/17 ; H03H9/05
摘要：
本发明公开一种具有沟槽形支撑层的FBAR传感器，本体从上至下依次设置为上电极，压电薄膜、下电极和支撑层，所述支撑层上设置有沟槽；旨在通过支撑层开槽设计提高氧化锌薄膜体声波谐振器的谐振性能，其属于压电声波器件领域。本发明通过沟槽形支撑层的结构设计改变了谐振器内部质点振动能量的分布，在原本的情况下，支撑层为完整矩形的谐振器在进行一阶厚度剪切振动时，其内部振动能量分布为从中心向两边逐渐减弱为近似为零。然而，通过引入这一发明的沟槽形支撑层结构，谐振器内部振动能量会向中心集中，从而降低模态耦合，提升其作为传感器时的检测精度。
公开/授权文献:
- CN117824824A 一种具有沟槽形支撑层的FBAR传感器 公开/授权日：2024-04-05
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01H | 机械振动或超声波、声波或次声波的测量 |
| ------G01H11/00 | 通过检测电或磁特性的变化测量机械振动或超声波、声波或次声波 |
| --------G01H11/02 | .用磁的方法，例如磁阻 |
| ----------G01H11/08 | ..用压电装置 |