基本信息:
- 专利标题： 等离子镀膜设备及其工艺-清洗进气结构
- 申请号：CN202211142834.7 申请日：2022-09-20
- 公开(公告)号：CN117790274A 公开(公告)日：2024-03-29
- 发明人： 李娜 , 韩大健 , 王海东 , 郭颂 , 刘海洋 , 张怀东 , 胡冬冬 , 许开东
- 申请人： 江苏鲁汶仪器有限公司
- 申请人地址： 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
- 专利权人： 江苏鲁汶仪器有限公司
- 当前专利权人： 江苏鲁汶仪器有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
- 代理机构： 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理人： 彭英
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H01L21/67 ; C23C16/455 ; C23C16/505
摘要：
本发明公开了一种等离子镀膜设备及其工艺‑清洗进气结构。工艺‑清洗进气结构包括进气结构本体；进气结构本体包括转接筒、双层进气套管、工艺气喷嘴以及清洗喷嘴，双层进气套管包括内管以及套接在内管外侧的外管；内管为用于输送清洗气体的清洗气管，外管与内管之间能够形成工艺气输送空腔；转接筒的一端能够输入清洗气体，另一端则能够与清洗气管的进气端对接连通，而清洗气管的出气端安装有所述的清洗喷嘴；工艺气输送空腔通过外管的侧壁上所设置的工艺气外接接口与工艺气外接输送管连通；工艺气输送空腔的出气端安装有所述的工艺气喷嘴。由此可知，本发明采用不同的路径来分别输送工艺气体和清洗气体，以能够有效改善清洗效率。