基本信息:
- 专利标题： 透明电极退火装置及方法
- 申请号：CN202211109889.8 申请日：2022-09-13
- 公开(公告)号：CN117737685A 公开(公告)日：2024-03-22
- 发明人： 王彩霞 , 墙子跃 , 吴瑶 , 赵晓霞 , 宗军
- 申请人： 国家电投集团科学技术研究院有限公司
- 申请人地址： 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层
- 专利权人： 国家电投集团科学技术研究院有限公司
- 当前专利权人： 国家电投集团科学技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层
- 代理机构： 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理人： 杜德海
- 主分类号： C23C14/58
- IPC分类号： C23C14/58 ; C23C14/34
摘要：
本发明公开了一种透明电极退火装置及方法，所述透明电极退火装置包括壳体、样品台、靶材、挡板和脉冲组件，壳体具有密封腔，样品台连接于壳体并位于密封腔内，样品台用于固定样品，靶材连接于壳体并位于密封腔内，靶材用于向样品溅射靶原子，挡板活动连接于壳体并位于密封腔内，挡板在遮挡位置和暴露位置之间可转换，在遮挡位置，挡板位于靶材与样品之间，在暴露位置，挡板移出靶材和样品之间，脉冲组件安装在挡板并位于挡板与样品之间，脉冲组件用于对样品进行加热。本发明通过脉冲组件对样品特定层进行快速加热，完成特定层退火的同时避免了其它部分温度过高而变质或损毁，提高了样品的品质。