基本信息:
- 专利标题： 可旋转双面靶材真空镀膜装置
- 申请号：CN202311630095.0 申请日：2023-11-30
- 公开(公告)号：CN117737666A 公开(公告)日：2024-03-22
- 发明人： 邵海平 , 刘莉云 , 曹英朝
- 申请人： 广东谛思纳为新材料科技有限公司
- 申请人地址： 广东省东莞市长安镇沙头社区靖海西路99号B栋二楼
- 专利权人： 广东谛思纳为新材料科技有限公司
- 当前专利权人： 广东谛思纳为新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省东莞市长安镇沙头社区靖海西路99号B栋二楼
- 代理机构： 深圳市精英创新知识产权代理有限公司
- 代理人： 叶凤如
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C23C14/35
摘要：
本发明公开了一种可旋转双面靶材真空镀膜装置，包括旋转筒、靶门框、旋转组件以及中频电源；旋转筒可旋转地连接至靶门框的内部；旋转组件连接至靶门框；旋转组件与旋转筒传动连接；旋转筒的顶端和底端均设置有溅射阴极组件；各溅射阴极组件上均贴合设置有靶材；中频电源设置于靶门框的外部；各溅射阴极组件分别与中频电源电连接；靶门框的底端开设有与旋转筒相正对的喷镀出口；旋转组件可带动旋转筒轴向旋转并使位于旋转筒顶端的靶材或位于旋转筒底端的靶材与喷镀出口相正对。某一端的靶材被消耗完后，可立即切换为另一端的靶材继续镀膜；也可将两端的靶材设置为不同种类的靶材，仅需旋转即可切换靶材的种类。镀膜作业的效率得到有效提升。