基本信息:
- 专利标题： 硼扩散方法、太阳能电池及其制备方法
- 申请号：CN202211038124.X 申请日：2022-08-25
- 公开(公告)号：CN117673191A 公开(公告)日：2024-03-08
- 发明人： 陈伟康 , 彭宏杰 , 陈德爽 , 任勇 , 何悦 , 任海亮
- 申请人： 横店集团东磁股份有限公司
- 申请人地址： 浙江省金华市东阳市横店工业区
- 专利权人： 横店集团东磁股份有限公司
- 当前专利权人： 横店集团东磁股份有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省金华市东阳市横店工业区
- 代理机构： 杭州华进联浙知识产权代理有限公司
- 代理人： 安威威
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L21/225
摘要：
本发明涉及一种硼扩散方法、太阳能电池及其制备方法。该硼扩散方法包括以下步骤：将制绒清洗后的硅片置于扩散设备中；在预设压力和预设温度下，向扩散设备中通源进行沉积，其中，通源包括通入硼源、氧气、水蒸气以及第一保护性气体，硼源、氧气以及水蒸气的体积比为1.8∶7.2∶1‑2.3∶8.2∶1以及升温，采用第二保护性气体对沉积后的硅片进行吹扫。该硼扩散方法能够使B均匀分布于硅片表面，从而使制得的硼扩后硅片具有优异的方阻均匀性，能够更好的应用于制备太阳能电池。