基本信息:
- 专利标题： 一种高灵敏度气体传感器检测电极制备方法及系统
- 申请号：CN202310133032.8 申请日：2023-02-20
- 公开(公告)号：CN117630118A 公开(公告)日：2024-03-01
- 发明人： 霍耀广 , 梁健汉 , 周清峰 , 万竹桉
- 申请人： 艾感科技(广东)有限公司
- 申请人地址： 广东省佛山市禅城区华宝南路13号C座6楼01.07室
- 专利权人： 艾感科技(广东)有限公司
- 当前专利权人： 艾感科技(广东)有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省佛山市禅城区华宝南路13号C座6楼01.07室
- 代理机构： 北京之于行知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘娜
- 优先权： 202210179981.5 2022.02.25 CN
- 主分类号： G01N27/12
- IPC分类号： G01N27/12
摘要：
本发明涉及一种高灵敏度气体传感器检测电极制备方法及系统，检测电极包括设置在第一功能区域的检测区段，其配置有第一功能层和第二功能层，经由处理的感测基板形成了若干个通向检测区段的第一通孔，在第一通孔位置处形成的至少包括第三功能层和第四功能层的若干功能层与检测区段的第一功能层相互配合以改善传感器系统的至少包括接触电阻的性能；传感器系统至少包括位于第一功能区域的检测区段和绝缘结构，检测区段配置有用于检测的第二功能层，绝缘结构至少配置有用于连接检测区段的第一表面和用于沉积金属氧化物层的第一通孔；制备方法包括以下步骤：在支承结构上形成检测基板；将检测基板结构化以产生至少包括第一功能区域的若干个功能区域。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N27/00 | 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料 |
| --------G01N27/02 | .通过测试阻抗 |
| ----------G01N27/04 | ..通过测试电阻 |
| ------------G01N27/12 | ...与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻 |