基本信息:
- 专利标题： 集成外延与预清洁系统
- 申请号：CN202311274978.2 申请日：2018-08-13
- 公开(公告)号：CN117448783A 公开(公告)日：2024-01-26
- 发明人： 劳拉·哈夫雷查克 , 舒伯特·S·楚 , 图沙尔·曼德雷卡尔 , 埃罗尔·C·桑切斯 , 劳建邦
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理人： 徐金国; 赵静
- 优先权： 62/552,107 2017.08.30 US
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; C23C16/513 ; C23C16/52 ; C23C16/02
摘要：
本发明涉及集成外延与预清洁系统。本申请案的实施方式大体上涉及耦接到至少一个气相外延腔室的转移腔室及耦接至转移腔室的等离子体氧化物移除腔室，等离子体氧化物移除腔室包括具有混合腔室及气体分配器的盖组件；穿过盖组件的一部分形成并与混合腔室流体连通的第一气体入口；穿过盖组件的一部分形成并与混合腔室流体连通的第二气体入口；穿过盖组件的一部分形成并与混合腔室流体连通的第三气体入口；及具有基板支撑表面的基板支撑件；升降构件，所述升降构件设置在基板支撑表面的凹槽中且经由基板支撑件耦接至升降致动器；及耦接至传送腔室的装载锁定腔室。