基本信息:
- 专利标题： 使用神经网络来监测的抛光装置
- 申请号：CN202311304395.X 申请日：2018-04-13
- 公开(公告)号：CN117325073A 公开(公告)日：2024-01-02
- 发明人： 许昆 , H·G·伊拉瓦尼 , D·伊万诺夫 , B·A·斯韦德克 , S-H·沈 , H·Q·李 , B·切里安
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 储思哲; 侯颖媖
- 优先权： 62/488,688 2017.04.21 US
- 主分类号： B24B37/005
- IPC分类号： B24B37/005 ; B24B37/34 ; H01L21/304 ; G06N3/045 ; G06N3/0499 ; G06N3/048 ; G06N3/084
摘要：
一种在抛光站抛光基板上的层的方法，包含以下动作：于在抛光站抛光期间利用原位监测系统监测所述层，以针对所述层上的多个不同位置产生多个所测得信号；针对多个不同位置中的每一位置，产生所述位置的对厚度的估算测量结果，产生步骤包含通过神经网络处理多个所测得信号；以及以下步骤中的至少一者：基于每一个对厚度的估算测量结果检测抛光终点或修改抛光参数。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B37/00 | 研磨机床或装置，即需要在相对软但仍为刚性的研具和被研磨表面之间加入粉末状磨料；及其附件 |
| --------B24B37/005 | .研磨机床或装置的控制装置 |