基本信息:
- 专利标题： 一种CVD/CVI数字化模型和预测方法
- 申请号：CN202311220004.6 申请日：2023-09-21
- 公开(公告)号：CN117275614A 公开(公告)日：2023-12-22
- 发明人： 关康 , 孙永胜 , 曾庆丰 , 刘建涛
- 申请人： 华南理工大学
- 申请人地址： 广东省广州市天河区五山路381号
- 专利权人： 华南理工大学
- 当前专利权人： 华南理工大学
- 当前专利权人地址： 广东省广州市天河区五山路381号
- 代理机构： 成都方圆聿联专利代理事务所
- 代理人： 李鹏
- 主分类号： G16C20/70
- IPC分类号： G16C20/70 ; G16C60/00 ; G06F30/23 ; G06F30/27 ; C23C16/32 ; C23C16/52 ; C04B35/565 ; C04B35/80 ; G06F111/10 ; G06F113/26
摘要：
本发明公开了一种CVD/CVI数字化模型和预测方法，包括第一H2桶、Ar桶、第二H2桶、化学气相沉积反应器、气体混合器、带加热功能的电子天秤；第一H2桶的输出口、Ar桶的输出口、带加热功能的电子天秤均连接气体混合器，第二H2桶的输出口均连接气体混合器，气体混合器连接化学气相沉积在反应器的进气口：本发明实现了在较宽CVD/CVI工艺参数范围内对SiC的沉积率进行快速、准确的预测，为未来的CVD/CVI数字孪生和智能制造奠定理论和方法基础。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G16 | 特别适用于特定应用领域的信息通信技术 |
| ----G16C | 计算化学；化学信息学；计算材料科学 |
| ------G16C20/00 | 化学信息学，例如特别适用于处理化学粒子、元素、化合物或混合物的物理化学或化合物结构数据的ICT |
| --------G16C20/70 | .机器学习，数据挖掘或化学统计学 |