基本信息:
- 专利标题： 一种光程补偿和参考镜可调的干涉物镜
- 申请号：CN202311154959.6 申请日：2023-09-08
- 公开(公告)号：CN117215045A 公开(公告)日：2023-12-12
- 发明人： 杨文钊 , 贾辉 , 岳鑫 , 袁芬芳 , 周翔
- 申请人： 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区联合路13-1号1号厂房101
- 专利权人： 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
- 当前专利权人： 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区联合路13-1号1号厂房101
- 代理机构： 北京惟盛达知识产权代理有限公司
- 代理人： 黄凯
- 主分类号： G02B21/02
- IPC分类号： G02B21/02 ; G01B9/02015 ; G02B21/04 ; G02B21/00 ; G02B7/00 ; G02B13/00 ; G02B27/12 ; G02B27/62 ; G02B21/24 ; G02B21/26
摘要：
本申请涉及一种光程补偿和参考镜可调的干涉物镜，包括等比分光棱镜、一维微型直线位移台、探测臂、参考臂，探测臂的一端、参考臂的一端分别朝向分光棱镜布置，探测臂与参考臂相互垂直布置；探测臂包括探测物镜，参考臂包括参考物镜，等比分光棱镜具有分光面，分光面呈45°布置，通过一维微型直线位移台调节等比分光棱镜的分光面与探测物镜或者参考物镜之间的距离；通过一维微型直线位移台改变该等比分光棱镜的45°分光面相对于其中一个物镜的距离，实现参考物镜和探测物镜后焦面在空间上相对45°分光面对称，从而实现白光干涉零光程差调节，调节起来方便快速，干涉调零后锁紧一维微型直线位移台调节机构使该干涉物镜及光学系统稳定工作。