基本信息:
- 专利标题： 具有可切换匹配和频率调节的RF功率传输架构
- 申请号：CN202280021016.3 申请日：2022-02-03
- 公开(公告)号：CN116982137A 公开(公告)日：2023-10-31
- 发明人： 爱德华四世·P·哈蒙德 , Y·特拉查克 , D·A·迪兹尔诺
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 储思哲; 侯颖媖
- 优先权： 17/169,220 20210205 US
- 国际申请： PCT/US2022/015099 2022.02.03
- 国际公布： WO2022/169963 EN 2022.08.11
- 进入国家日期： 2023-09-12
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
一种电源电路包括：可切换匹配；可连接至负载的高电压总线和低电压总线，使得负载串联在总线之间；至少两个具有固定电容的电容器，所述至少两个具有固定电容的电容器可连接在高电压总线和低电压总线之间；以及多个固态开关，所述多个固态开关在数量上等于可连接在高电压总线和低电压总线之间的具有固定电容的电容器的数量，每个开关经配置且经布置以将高电压总线和低电压总线之间的电容器中的一者连接进高电压总线和低电压总线之间的电通信中或与所述电通信断开；以及变频电源，所述变频电源包括高电压输出连接，所述高电压连接连接至高电压总线。
公开/授权文献:
- CN116982137B 具有可切换匹配和频率调节的RF功率传输架构 公开/授权日：2024-10-11