![一种多功能复合型扫描探头](/CN/2023/1/177/images/202310885880.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 一种多功能复合型扫描探头
- 申请号:CN202310885880.4 申请日:2023-07-18
- 公开(公告)号:CN116931256A 公开(公告)日:2023-10-24
- 发明人: 马冬林 , 赵浩宇 , 徐智谋 , 刘晓军
- 申请人: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;
- 专利权人: 华中科技大学,深圳华中科技大学研究院
- 当前专利权人: 华中科技大学,深圳华中科技大学研究院
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;
- 代理机构: 武汉派富知识产权代理事务所
- 代理人: 刘艳丽
- 主分类号: G02B26/10
- IPC分类号: G02B26/10 ; G02B7/02 ; G01B11/24
摘要:
本发明涉及光学显微扫描领域,具体涉及多功能复合型扫描探头。本发明包含探头壳体、第一传输光纤、第二传输光纤、穿孔光纤固定组件、第一固定组件、第一透镜组、第二固定组件、第二透镜组,其中第一透镜组的所述第一数值孔径大于与所述第二透镜组的所述第二数值孔径,第一透镜组的光轴与第二透镜组的光轴存在固定夹角。该发明将大数值孔径的可见光探头和小数值孔径的多波长红外探头固定集成,平移或旋转透镜组时不需要二次标定,具有较高的工作效率和较强的系统稳定性。主要用于微结构和微纳光学元件测量。