基本信息:
- 专利标题： 一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法
- 申请号：CN202310866482.8 申请日：2023-07-14
- 公开(公告)号：CN116930234A 公开(公告)日：2023-10-24
- 发明人： 陈奕文 , 李钰环 , 罗迷 , 刘建党 , 张宏俊 , 叶邦角
- 申请人： 中国科学技术大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 代理机构： 合肥金安专利事务所
- 代理人： 陆娟
- 主分类号： G01N23/2251
- IPC分类号： G01N23/2251 ; G01T1/203 ; G01T1/208 ; G01T1/24
摘要：
本发明涉及用于正电子湮没多普勒展宽测量的多普勒谱仪的技术领域，具体为一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法。包括高纯锗探测器、放大器、反符合模块和数据采集处理模块，高纯锗探测器用于接收正负电子湮没产生的湮没光子并沉积能量；放大器对负指数核脉冲信号进行放大和高斯成型处理，得到高斯脉冲信号；高速数字示波器的一路采集反符合脉冲信号，另一路采集放大器的高斯脉冲信号；计算机得到高速数字示波器的双通道信号进行反符合逻辑判断，得到多普勒展宽谱并计算其S‑W参数，获得薄膜样品内缺陷信息。本发明采用反符合模块对湮没光子位置进行判断，实现了用于微米级薄膜测试的数字化反符合多普勒谱仪。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N23/00 | 利用未包括在G01N21/00或G01N22/00组内的波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、中子 |
| --------G01N23/02 | .通过使辐射透过材料 |
| ----------G01N23/225 | ..利用电子或离子微探针 |
| ------------G01N23/2251 | ...使用入射电子束，例如扫描电子显微镜 |