基本信息:
- 专利标题： 陶瓷加热器
- 申请号：CN202211285014.3 申请日：2022-10-20
- 公开(公告)号：CN116744481A 公开(公告)日：2023-09-12
- 发明人： 石川征树 , 杉本博哉
- 申请人： 日本碍子株式会社
- 申请人地址： 日本国爱知县
- 专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国爱知县
- 代理机构： 北京旭知行专利代理事务所
- 代理人： 王轶; 郑雪娜
- 优先权： 2022-032565 20220303 JP
- 主分类号： H05B3/02
- IPC分类号： H05B3/02 ; H05B3/06 ; H05B3/20
摘要：
本发明提供一种陶瓷加热器，其容易使整个晶片载放面的温度变得均匀。陶瓷加热器(20)具备：陶瓷板(21)，其表面具有晶片载放面；区段加热器，其与将陶瓷板(20)的表面分割为多个得到的区段分别对应地植入于陶瓷板；端子(27)，其借助陶瓷板(21)的内部配线而与区段加热器的端部连接；端子集中区域(F1～F7)，其中集中配置有多个端子(27)；端子空缺区域(E1～E17)，其中未配置端子。该陶瓷加热器(20)中，作为区段加热器，具备在与端子集中区域(F1～F7)对应的区段所设置的端子集中区域对应区段加热器、以及在与端子空缺区域(E1～E14)对应的区段所设置的端子空缺区域区段加热器。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H05 | 其他类目不包含的电技术 |
| ----H05B | 电热；其他类目不包含的电照明 |
| ------H05B3/00 | 欧姆电阻加热的 |
| --------H05B3/02 | .零部件 |