基本信息:
- 专利标题： 带电粒子探测系统、探测方法及扫描电子显微镜
- 申请号：CN202310893955.3 申请日：2023-07-20
- 公开(公告)号：CN116646229B 公开(公告)日：2023-11-03
- 发明人： 杨思源 , 李晓昂 , 李成宇 , 王志斌 , 杨润潇
- 申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙)
- 申请人地址： 北京市海淀区上地信息路1号(北京实创高科技发展总公司1-1号)A栋6层6232号
- 专利权人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙)
- 当前专利权人： 惠然科技有限公司
- 当前专利权人地址： 100163 北京市大兴区金时大街3号院6号楼1至3层101
- 代理机构： 北京开阳星知识产权代理有限公司
- 代理人： 张通
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; H01J37/141 ; H01J37/20 ; H01J37/28 ; H01L21/66
摘要：
本发明涉及一种带电粒子探测系统、探测方法及扫描电子显微镜；该带电粒子探测系统包括：沿入射电子束方向依次设置的第一探测器组件、第二探测器组件及物镜；其中，第一探测器组件用于接收入射电子束作用于待测样品上产生的第一信号电子；第二探测器组件用于接收入射电子束作用于待测样品上产生的第二信号电子，第二探测器组件设置有第一通孔，第一信号电子穿过第一通孔；物镜为电磁透镜，用于汇聚入射电子束以及第一信号电子、第二信号电子。基于上述方案，本发明简化了带电粒子探测系统的结构，设备的加工难度较低，降低了带电粒子探测系统的加工成本，降低了带电粒子探测系统在使用过程中的调试难度。
公开/授权文献:
- CN116646229A 带电粒子探测系统、探测方法及扫描电子显微镜 公开/授权日：2023-08-25
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/244 | ..检测器；所采用的组件或电路 |