基本信息:
- 专利标题： 一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺
- 申请号：CN202310668551.4 申请日：2023-06-07
- 公开(公告)号：CN116625346A 公开(公告)日：2023-08-22
- 发明人： 朴林华 , 刘珺宇 , 佟嘉程
- 申请人： 北京信息科技大学
- 申请人地址： 北京市海淀区清河小营东路12号
- 专利权人： 北京信息科技大学
- 当前专利权人： 北京信息科技大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清河小营东路12号
- 代理机构： 北京邦创至诚知识产权代理事务所
- 代理人： 张宇锋
- 主分类号： G01C19/58
- IPC分类号： G01C19/58
摘要：
本发明公开了一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺，该独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺包括敏感层、和盖板；敏感层上表面有两个加热器和两对热敏电阻，在敏感层下表面中心位置刻蚀有矩形凹槽；四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于两个加热器两侧，一个加热器两侧的热敏电阻形成一个独立敏感单元，共两个独立敏感单元，用于敏感Z轴的角速度；盖板刻有空腔，与敏感层紧密相连形成一个密封的工作空间。本发明继承了MEMS热膨胀流陀螺的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。本发明采用独立敏感单元，使陀螺具有较高的灵敏度。本发明的敏感元件中无悬臂梁结构，具有良好的抗冲击性能、结构简单、成本极低、可靠性高等特点。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01C | 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学 |
| ------G01C19/00 | 陀螺仪；带有振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置 |
| --------G01C19/58 | .不带有运动部件的转动敏感装置 |