基本信息:
- 专利标题： 一种高强高纯氮化硅坩埚及其制备方法和应用
- 申请号：CN202310571053.8 申请日：2023-05-20
- 公开(公告)号：CN116589284A 公开(公告)日：2023-08-15
- 发明人： 张青 , 叶昉 , 成来飞 , 周杰 , 赵凯
- 申请人： 西北工业大学
- 申请人地址： 陕西省西安市友谊西路127号
- 专利权人： 西北工业大学
- 当前专利权人： 西北工业大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市友谊西路127号
- 代理机构： 丽水创智果专利代理事务所
- 代理人： 李洁
- 主分类号： C04B35/584
- IPC分类号： C04B35/584 ; C23C16/34 ; C04B35/622 ; C04B35/64 ; C04B41/87
摘要：
本发明涉及多晶硅铸锭技术领域，具体涉及一种高强高纯氮化硅坩埚及其制备方法和应用。本发明采用气压烧结结合化学气相沉积法，制备一种氮化硅陶瓷基体与Si3N4涂层紧密结合的氮化硅坩埚。该氮化硅坩埚具有高强度、耐高温、可保证产物纯净、可长期重复使用的优点，在使用过程中可不再匹配传统石英坩埚，降低生产成本，同时克服了现有技术坩埚的涂层与基体结合性差的问题。