基本信息:
- 专利标题： 静电卡盘装置
- 申请号：CN202310776968.2 申请日：2018-09-26
- 公开(公告)号：CN116581081A 公开(公告)日：2023-08-11
- 发明人： 小坂井守 , 尾崎雅树 , 前田佳祐
- 申请人： 住友大阪水泥股份有限公司
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
- 当前专利权人： 住友大阪水泥股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 上海立群专利代理事务所
- 代理人： 毛立群
- 优先权： 2017-189719 20170929 JP 2017-189719 20170929 JP
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01J37/32
摘要：
本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置试样的试样载置面且具有静电吸附用第1电极；冷却基部，相对于静电卡盘部载置于与试样载置面相反的一侧且冷却静电卡盘部；及粘接层，将静电卡盘部和所述冷却基部粘接在一起，静电卡盘部在粘接层侧具有凹凸，第1电极的表面电阻值高于1.0Ω/□且低于1.0×1010Ω/□。