基本信息:
- 专利标题： 用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统及方法
- 申请号：CN202310527571.X 申请日：2023-05-11
- 公开(公告)号：CN116558783A 公开(公告)日：2023-08-08
- 发明人： 宋光均 , 初天伟 , 罗海涛 , 湛恒辉 , 曹建军
- 申请人： 广州标旗光电科技发展股份有限公司
- 申请人地址： 广东省广州市黄埔区彩频路7号701-1房
- 专利权人： 广州标旗光电科技发展股份有限公司
- 当前专利权人： 广州标旗光电科技发展股份有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省广州市黄埔区彩频路7号701-1房
- 代理机构： 广州中屹智权专利代理事务所
- 代理人： 黄河
- 主分类号： G01M11/02
- IPC分类号： G01M11/02 ; G01B11/06
摘要：
本发明公开了用于连续真空镀膜的在线全波长检测系统，传递单元用于镀膜样品的输送至下一真空镀膜单元，传递单元能将镀膜样品输送至检测模块的指定位置，光源模块发出的光线经镀膜样品后进入采光机构。本申请能够满足连续镀膜的在线全波长检测，能够实时检测镀膜后的光学性能变化，进而在调整光学镀膜参数以达到理想的光学镀膜效果，本方法能够大幅提升多层连续镀膜的良品率；同时本申的采光机构的第二视窗与光源模块的第一视窗采用指定角度的倾斜设置，能够有效避免镀膜样品上表面和下表面的反射光进入到积分球，进而有效减少背景干扰、提升灵敏度，能够有效发现每一层镀膜后镀膜样品的光学性的差异，为下一层镀膜提供参数指引。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01M | 机器或结构部件的静或动平衡的测试；未列入其他类目的结构部件或设备的测试 |
| ------G01M11/00 | 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 |
| --------G01M11/02 | .光学性质的测试 |