基本信息:
- 专利标题： 一种基于空间光调制器的可变焦飞秒激光加工系统
- 申请号：CN202310839806.9 申请日：2023-07-10
- 公开(公告)号：CN116551160A 公开(公告)日：2023-08-08
- 发明人： 谭德志 , 李增领 , 刘松国 , 孙轲 , 朱泊宁 , 陈晨端 , 吴佳佳
- 申请人： 之江实验室
- 申请人地址： 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室
- 专利权人： 之江实验室
- 当前专利权人： 之江实验室
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室
- 代理机构： 杭州华进联浙知识产权代理有限公司
- 代理人： 黄文勇
- 主分类号： B23K26/0622
- IPC分类号： B23K26/0622 ; B23K26/064
摘要：
本申请涉及一种基于空间光调制器的可变焦飞秒激光加工系统，包括在承载平台上设有用于生成激光束的飞秒激光器；在承载平台上设有用于将激光束进行共光轴处理的底部光路；在承载平台上设有用于通过空间光调制器将共光轴后的激光束进行调制的顶部光路；在顶部光路围成的空间内设有用于将调制后的激光束传输至待加工样品进行聚焦的显微成像系统；在承载平台上还设有对待加工样品的位置进行控制的三维位移台。通过空间光调制器对激光进行调制，结合飞秒激光直写技术，在二维平面或三维空间内形成多焦点阵列，实现材料内部单次快速成型复杂结构。在系统中增加了物镜旋转台，针对不同尺度的加工要求，方便切换不同放大倍数、数值孔径的物镜。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B23 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工 |
| ----B23K | 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工 |
| ------B23K26/00 | 用激光束加工，例如焊接，切割，打孔 |
| --------B23K26/02 | .工件的定位和观测，如相对于冲击点，激光束的对正，瞄准或聚焦 |
| ----------B23K26/04 | ..激光束的自动对正，瞄准或聚焦，如应用反向散射光 |
| ------------B23K26/062 | ...直接控制激光束的 |
| --------------B23K26/0622 | ....通过成形脉冲的 |