基本信息:
- 专利标题： 具有多层光电传感薄膜晶体管的制备方法
- 申请号：CN202310232062.4 申请日：2023-03-06
- 公开(公告)号：CN116525711A 公开(公告)日：2023-08-01
- 发明人： 杨东哺 , 闫岩 , 吴金萱 , 张猛 , 黎冰
- 申请人： 深圳大学
- 申请人地址： 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号
- 专利权人： 深圳大学
- 当前专利权人： 深圳大学
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号
- 代理机构： 深圳市精英专利事务所
- 代理人： 迟珊珊
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/0216 ; C23C14/34 ; C23C14/14 ; C23C16/455 ; C23C16/40 ; C23C14/04 ; C23C14/08 ; C23C28/00
摘要：
本发明公开了一种具有多层光电传感薄膜晶体管的制备方法，包括以下步骤将基底放入第一溅射氛围进行溅射形成铝制的底栅层，将基底放入原子层沉积氛围进行原子层沉积，底栅层的上表面形成氧化铝介质层；将基底放入第二溅射氛围基于IGZO靶材溅射形成传输层；将基底放入第三溅射氛围基于IGZO靶材以及氮气气流溅射形成光吸收层；将基底放入第四溅射氛围基于铝单质靶材溅射形成铝电极；基底、底栅层、氧化铝介质层、传输层、光吸收层以及铝电极构成光电传感复合薄膜结构用于光电传感器内晶体管的光电转换。本方法能够制备高纯度光电传感薄膜可稳定地在可见光照下对电流进行放大，通过溅射法制备光电传感薄膜显著提升了光电晶体管的可见光响应。