基本信息:
- 专利标题： 声表面波延迟线表面的气敏传感薄膜的制备方法和装置
- 申请号：CN202310280965.X 申请日：2023-03-21
- 公开(公告)号：CN116359334A 公开(公告)日：2023-06-30
- 发明人： 罗传胜 , 毛学飞 , 李春雷 , 唐小峰 , 周洪立 , 胡炜 , 苏毅 , 唐彬 , 孔令毅 , 陈冲 , 卢幸 , 苏郑予希 , 崔林丽 , 杨晓燕 , 何金梅 , 陈芃 , 姚峥 , 黄霖 , 周闯
- 申请人： 广西电网有限责任公司南宁供电局
- 申请人地址： 广西壮族自治区南宁市江南区星光大道43号
- 专利权人： 广西电网有限责任公司南宁供电局
- 当前专利权人： 广西电网有限责任公司南宁供电局
- 当前专利权人地址： 广西壮族自治区南宁市江南区星光大道43号
- 代理机构： 成都领航高智知识产权代理有限公司
- 代理人： 杨奇松
- 主分类号： G01N29/02
- IPC分类号： G01N29/02
摘要：
本发明涉及声表面波延迟线表面的气敏传感薄膜的制备方法和装置，方法包括步骤：A、声表面波发生器与内置有纳米气敏液体的微型气压发生装置连接；B、声表面波发生器中的叉指电极在DDS信号源的作用下产生声表面波；C、微型气压发生装置在声表面波形成的微型气压作用下向声表面波气体传感器中的声表面波延迟线输出纳米气敏液体，并在声表面波的作用下均匀布置声表面波延迟线上形成气敏传感薄膜。本发明制备气敏传感薄膜的方式更加简单、经济，并且精准度更高，便于声表面波气体传感器的产品标准化，同时设备安装的运行环境要求低，非常适合中小批量的声表面波气体传感器的气敏传感薄膜制备。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N29/00 | 利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料；靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像 |
| --------G01N29/02 | .流体分析 |