基本信息:
- 专利标题： 一种多量程纳米薄膜压力传感器
- 申请号：CN202211640714.X 申请日：2022-12-20
- 公开(公告)号：CN116358749A 公开(公告)日：2023-06-30
- 发明人： 徐承义 , 杨雪梅 , 刘素夫 , 雷卫武
- 申请人： 松诺盟科技有限公司
- 申请人地址： 湖南省长沙市浏阳经济技术开发区湘台路18号长沙E中心A5栋3、4层01、02号房
- 专利权人： 松诺盟科技有限公司
- 当前专利权人： 松诺盟科技有限公司
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市浏阳经济技术开发区湘台路18号长沙E中心A5栋3、4层01、02号房
- 代理机构： 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘波
- 主分类号： G01L1/22
- IPC分类号： G01L1/22 ; G01L1/20
摘要：
本发明提出了一种多量程纳米薄膜压力传感器，涉及压力传感器领域。该压力传感器包括主控芯体、薄膜电阻应变片和引压嘴；主控芯体具有基础承载板，基础承载板开设有多个应力集中孔；薄膜电阻应变片的数量为多个，多个薄膜电阻应变片一一对应设置于多个应力集中孔，薄膜电阻应变片设置有惠斯顿敏感电桥，薄膜电阻应变片连接主控芯体，惠斯顿敏感电桥上的应变电阻通过焊接引线连接主控芯体；引压嘴的数量为多个，且引压嘴的数量等于应力集中孔的数量，多个引压嘴一一对应设置于多个应力集中孔的端口，引压嘴和薄膜电阻应变片挤压配合。本发明通过在一个主控芯体上布置多个压力测量区域(薄膜电阻应变片和应力集中孔的组合)，实现点位的同步测量。
公开/授权文献:
- CN116358749B 一种多量程纳米薄膜压力传感器 公开/授权日：2024-03-26