基本信息:
- 专利标题： 静电吸盘
- 申请号：CN202310336113.8 申请日：2019-02-28
- 公开(公告)号：CN116313981A 公开(公告)日：2023-06-23
- 发明人： 山口康介 , 白石纯 , 板仓郁夫 , 籾山大 , 西愿修一郎
- 申请人： TOTO株式会社
- 申请人地址： 日本福冈县
- 专利权人： TOTO株式会社
- 当前专利权人： TOTO株式会社
- 当前专利权人地址： 日本福冈县
- 代理机构： 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 阎文君; 鹿屹
- 优先权： 2018-047010 20180314 JP 2018-203734 20181030 JP
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/67 ; H01J37/20 ; H01J37/32
摘要：
本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。