基本信息:
- 专利标题： 新型萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物以及包含其的光致产酸剂和光刻胶组合物
- 申请号：CN202180066646.8 申请日：2021-09-29
- 公开(公告)号：CN116249937A 公开(公告)日：2023-06-09
- 发明人： 吴泉林 , 崔大赫 , 金珉政 , 李得洛 , 李元重 , 崔维娜 , 崔智恩
- 申请人： 株式会社三养社
- 申请人地址： 韩国首尔
- 专利权人： 株式会社三养社
- 当前专利权人： 株式会社三养社
- 当前专利权人地址： 韩国首尔
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理人： 蒋洪之; 太香花
- 优先权： 10-2020-0127042 20200929 KR
- 国际申请： PCT/KR2021/013398 2021.09.29
- 国际公布： WO2022/071774 KO 2022.04.07
- 进入国家日期： 2023-03-29
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004
摘要：
本发明涉及一种萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物以及包含该萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物的光致产酸剂和光刻胶组合物，更详细地，涉及一种如下的萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物化合物以及包含该萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物化合物的光致产酸剂和光刻胶组合物，所述萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物化合物对i‑线(365nm)波长的光具有优异的吸光度，在有机溶剂中具有高溶解性，并且具有优异的热稳定性，而且表现出良好的产酸率。