基本信息:
- 专利标题： 静电吸附部及包括其的基板处理装置
- 申请号：CN202211425012.X 申请日：2022-11-14
- 公开(公告)号：CN116137247A 公开(公告)日：2023-05-19
- 发明人： 金容显 , 罗兴烈 , 金泰宪 , 明承镐 , 赵喆来
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京钲霖知识产权代理有限公司
- 代理人： 李英艳; 玉昌峰
- 优先权： 10-2021-0159301 20211118 KR
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
本发明公开一种静电吸附部及包括其的基板处理装置。静电吸附部包括：基底，包括凸部以及分别位于凸部之间的凹部；调节部，包括分别配置于凸部上的调节条；以及卡盘部，分别配置于调节条上，并包括彼此隔开且使基板固定的多个子静电卡盘。