基本信息:
- 专利标题： 一种场效应晶体管氢气传感器、制备方法、氢气检测方法
- 申请号：CN202211668005.2 申请日：2022-12-24
- 公开(公告)号：CN116046851A 公开(公告)日：2023-05-02
- 发明人： 王利利 , 王庆
- 申请人： 郑州炜盛电子科技有限公司
- 申请人地址： 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号
- 专利权人： 郑州炜盛电子科技有限公司
- 当前专利权人： 郑州炜盛电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号
- 代理机构： 郑州德勤知识产权代理有限公司
- 代理人： 黄红梅
- 主分类号： G01N27/12
- IPC分类号： G01N27/12 ; H01L29/06 ; H01L29/49 ; H01L21/336 ; H01L29/78 ; G06N3/048 ; G06N3/084
摘要：
本发明提供一种场效应晶体管氢气传感器、制备方法、氢气检测方法，传感器包括：半导体基底、源极及漏极、沟道、介质层、敏感栅极、过滤层；半导体基底上的源极及漏极按照从源极、漏极、源极的顺序布置；半导体基底表面上形成两条同等大小的沟道；介质层以四阵列方式布设在两条沟道上；工作时，在敏感栅极和源极加载阈值电压，源极接地，漏极加载固定电压；当敏感栅极暴露在氢气氛围中时，其电阻发生改变，使得敏感栅极的阈值电压发生改变，从而改变漏极和源极之间沟道的电流，实现传感功能。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N27/00 | 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料 |
| --------G01N27/02 | .通过测试阻抗 |
| ----------G01N27/04 | ..通过测试电阻 |
| ------------G01N27/12 | ...与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻 |