基本信息:
- 专利标题： 衬底升降机构
- 专利标题（英）：Lifting device for substrates
- 申请号：CN00802967.9 申请日：2000-01-13
- 公开(公告)号：CN1160233C 公开(公告)日：2004-08-04
- 发明人： P·阿本舍恩 , S·赫尔曼
- 申请人： 施蒂格哈马技术股份公司
- 申请人地址： 德国斯台恩费尔斯
- 专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
- 当前专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
- 当前专利权人地址： 德国斯台恩费尔斯
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 苏娟; 赵辛
- 优先权： 19902338.7 1999.01.21 DE
- 国际申请： PCT/EP2000/000190 2000.01.13
- 国际公布： WO2000/043305 DE 2000.07.27
- 进入国家日期： 2001-07-20
- 主分类号： B65H1/14
- IPC分类号： B65H1/14 ; B23Q7/10 ; B23Q7/00 ; H01L21/00
摘要：
本发明涉及一种衬底升降机构。为了使带有夹具(10)的衬底升降机构(2)实现尽可能简单地心轴转换，夹具这样构成，通过旋转或摆动夹具(10)，可以该夹具(10)与衬底支架(25)啮合，通过衬底支架(25)的运动起到使夹具(10)旋转或摆动的作用。由此减少了成本，提高了机构的可靠性。
公开/授权文献:
- CN1336898A 衬底升降机构 公开/授权日：2002-02-20
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65H | 搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索 |
| ------B65H1/00 | 物件和垛堆分开用的支承或储存器 |
| --------B65H1/04 | .适用于基本上水平地支承物件，例如用于从垛堆顶部分开 |
| ----------B65H1/14 | ..有强制作用的机械装置 |