基本信息:
- 专利标题： 动态载物台及面形调整方法
- 申请号：CN202211717095.X 申请日：2022-12-29
- 公开(公告)号：CN115954312A 公开(公告)日：2023-04-11
- 发明人： 罗先刚 , 王强 , 王彦钦 , 王长涛 , 赵波 , 王恒 , 赵承伟
- 申请人： 中国科学院光电技术研究所
- 申请人地址： 四川省成都市双流350信箱
- 专利权人： 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人： 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人地址： 四川省成都市双流350信箱
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人： 肖慧
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/687
摘要：
本公开提供一种动态载物台及面形调整方法，动态载物台包括：支撑板，支撑板上设有导线通道和真空通道；面形控制模块，安装在支撑板表面，包括压电陶瓷阵列及气密墙，气密墙围绕压电陶瓷阵列；其中，压电陶瓷阵列由阵列排布的压电陶瓷单元组成，每一个压电陶瓷单元通过穿过导线通道的电极线与外部电路独立连接，外部电路向各个压电陶瓷单元两端独立施加电势差，使压电陶瓷单元独立产生纵向形变；压电陶瓷阵列用于支撑待调整工件，真空通道用于对气密墙、支撑板和待调整工件围成的空间抽真空，将待调整工件吸附在压电陶瓷阵列上。该动态载物台实现了对不同工件面形地灵活精确调整。