基本信息:
- 专利标题： 用于对衬底的表面的至少一个区域或区段改性的方法和衬底
- 申请号：CN202211208534.4 申请日：2022-09-30
- 公开(公告)号：CN115893859A 公开(公告)日：2023-04-04
- 发明人： C·欧特曼 , F·巴丘伯 , S·魏德利希
- 申请人： 肖特股份有限公司
- 申请人地址： 德国美因茨
- 专利权人： 肖特股份有限公司
- 当前专利权人： 肖特股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国美因茨
- 代理机构： 北京思益华伦专利代理事务所
- 代理人： 赵飞
- 优先权： 102021125476.0 20210930 DE
- 主分类号： C03C15/00
- IPC分类号： C03C15/00 ; C03C3/12 ; C03C3/076 ; C03C3/062 ; C04B41/91
摘要：
本发明涉及用于对衬底的表面或区段的至少一个区域进行改性的方法以及相应改性的衬底。衬底可为晶圆，尤其包括透明的、高折射率的多组分玻璃的晶圆。提出用于对衬底的表面和/或区段的至少一个区域进行物理改性的方法，其中通过施加粒子束对衬底的表面的区域或区段进行改性。衬底的根据本发明改性的区域例如可用于成像的光学系统、例如应用在增强现实的领域中。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C03 | 玻璃；矿棉或渣棉 |
| ----C03C | 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 |
| ------C03C15/00 | 纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理 |