基本信息:
- 专利标题： 滤波器及其制造方法
- 申请号：CN202111068413.X 申请日：2021-09-13
- 公开(公告)号：CN115811296A 公开(公告)日：2023-03-17
- 发明人： 吴明 , 唐兆云 , 杨清华
- 申请人： 苏州汉天下电子有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区39幢
- 专利权人： 苏州汉天下电子有限公司
- 当前专利权人： 苏州汉天下电子有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区39幢
- 代理机构： 北京允天律师事务所
- 代理人： 李建航
- 主分类号： H03H9/56
- IPC分类号： H03H9/56 ; H03H9/58 ; H03H9/64
摘要：
本公开提供了滤波器及其制造方法。根据本公开的滤波器包括：中心谐振器；以及围绕中心谐振器设置并且电连接到中心谐振器的至少一个环形谐振器，其中中心谐振器和至少一个环形谐振器均包括沿竖直方向依次设置的衬底、反射部件、下电极、压电层和上电极，并且其中上电极设置有用于减小与竖直方向垂直的水平方向上的机械波传播的微结构。根据本公开的滤波器及其制造方法，通过以嵌套的方式设置滤波器的多个谐振器，能够在不增加工艺复杂度的情况下提高滤波器的集成度并且减小滤波器的体积。此外，通过在滤波器的每个谐振器的上电极中设置微结构来减小横向机械波传播，能够少谐振能量的损失，从而提高声学谐振器的品质因数。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H9/00 | 包括机电或电声元件的网络，如谐振电路 |
| --------H03H9/30 | .时延网络 |
| ----------H03H9/48 | ..所采用的耦合装置 |
| ------------H03H9/56 | ...单晶滤波器 |