基本信息:
- 专利标题： 一种电子束加工设备脉冲栅偏电源
- 申请号：CN202211429086.0 申请日：2022-11-15
- 公开(公告)号：CN115800964A 公开(公告)日：2023-03-14
- 发明人： 黄小东 , 费翔 , 董阳 , 黄奉宾 , 李黎 , 王伟 , 陆苇 , 梁祖明 , 郭文明 , 黄汉超
- 申请人： 桂林狮达技术股份有限公司
- 申请人地址： 广西壮族自治区桂林市七星区英才科技园创业一道3号
- 专利权人： 桂林狮达技术股份有限公司
- 当前专利权人： 桂林狮达技术股份有限公司
- 当前专利权人地址： 广西壮族自治区桂林市七星区英才科技园创业一道3号
- 代理机构： 北京慕达星云知识产权代理事务所
- 代理人： 符继超
- 主分类号： H03K3/57
- IPC分类号： H03K3/57 ; B23K15/02
摘要：
本发明公开了一种电子束加工设备脉冲栅偏电源，包括：脉冲供电电源、放电电路、负载电阻和栅偏电容；放电电路的第1端连接脉冲供电电源的负输出端；放电电路的第2端依次连接负载电阻的一端和栅偏电容的一端，并接至电子枪栅偏极；放电电路的第3端一侧连接脉冲供电电源的正输出端，放电电路的第3端另一侧依次连接负载电阻的另一端和栅偏电容的另一端，并接至电子枪阴极和加速电源的负输出端。可大大降低栅偏电容放电时间，实现高速脉冲电子束工作功能。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03K | 脉冲技术 |
| ------H03K3/00 | 用于产生电脉冲的电路；单稳态，双稳态或多稳态电路 |
| --------H03K3/01 | .零部件 |
| ----------H03K3/45 | ..应用非线性磁性器件作为有源元件的；应用非线性介电器件作为有源元件的 |
| ------------H03K3/57 | ...应用半导体器件的 |