基本信息:
- 专利标题： 一种制作反射式体布拉格光栅的全息曝光光路系统及其写入方法
- 申请号：CN202211543607.5 申请日：2022-12-03
- 公开(公告)号：CN115793117A 公开(公告)日：2023-03-14
- 发明人： 华露 , 陈雷华 , 秦明海
- 申请人： 苏州东辉光学有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市工业园区唯亭葑亭大道439号
- 专利权人： 苏州东辉光学有限公司
- 当前专利权人： 苏州东辉光学有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市工业园区唯亭葑亭大道439号
- 代理机构： 广州市红荔专利代理有限公司
- 代理人： 蒋春梅
- 主分类号： G02B5/18
- IPC分类号： G02B5/18 ; G03F7/20
摘要：
本发明公开了一种制作反射式体布拉格光栅的全息曝光光路系统，包括激光干涉光路和条纹锁定系统，激光器发出的相干光通过分束镜分为反射光和透射光，在反射光路上依次设置有反射镜、第一光阑、第一空间滤波器、第一准直透镜；在透射光路上依次设置有第二光阑、第二空间滤波器和第二准直透镜，最后反射光和透射光对称入射至基片框，所述基片框上设置有待写入的反射式体布拉格光栅和用作条纹锁定的面光栅；本发明同时提供制作反射式体布拉格光栅的全息曝光光路系统的写入方法；通过上述方式，本发明利用透射式曝光方式制作反射式光栅，其全息曝光光路干涉角度方便可调，确保光栅周期精确改变，同时干涉光束稳定性好，可保证小周期体光栅的稳定写入。