基本信息:
- 专利标题： 用于压印微和/或纳米结构的设备和方法
- 申请号：CN202211359043.X 申请日：2016-09-05
- 公开(公告)号：CN115629520A 公开(公告)日：2023-01-20
- 发明人： F.P.林德纳 , H.扎格尔迈尔 , C.舍恩 , T.格林斯纳 , E.赖斯纳 , P.菲舍尔 , O.卢克施
- 申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 申请人地址： 奥地利圣弗洛里安
- 专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人地址： 奥地利圣弗洛里安
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 郭帆扬
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00
摘要：
就此提出一种用于压印微和/或纳米结构的设备和方法。