基本信息:
- 专利标题： 一种内嵌式节流装置
- 申请号：CN202211103945.7 申请日：2022-09-09
- 公开(公告)号：CN115573998A 公开(公告)日：2023-01-06
- 发明人： 尹韶辉 , 王定文
- 申请人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心 , 湖南大学
- 申请人地址： 江苏省无锡市锡山区通云南路77号云林科技园4号楼;
- 专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心,湖南大学
- 当前专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心,湖南大学
- 当前专利权人地址： 江苏省无锡市锡山区通云南路77号云林科技园4号楼;
- 代理机构： 北京思睿峰知识产权代理有限公司
- 代理人： 谢建云; 赵爱军
- 主分类号： F16C32/06
- IPC分类号： F16C32/06
摘要：
本发明公开了一种内嵌式节流装置，应用于气体静压轴承，包括：气导件、节流柱和弹性件；气导件上设置有第一开口，弹性件上设置有第二开口，节流柱依次穿过第一开口和第二开口；气导件与节流柱在第一开口处形成有供气体通过的节流缝隙，弹性件与节流柱在第二开口处抵接，气导件、节流柱和弹性件之间形成第一气腔，且节流缝隙与第一气腔导通，弹性件、节流柱和气体静压轴承对应的主轴转子之间形成第二气腔；其中，节流柱在第一气腔处形成有进气孔，以及在与主轴转子的接触位置处形成有出气孔，外部气体经过节流缝隙和第一气腔后，通过进气孔进入节流柱，并通过出气孔进入第二气腔。