基本信息:
- 专利标题： 一种支撑装置及测量系统
- 申请号：CN202211138757.8 申请日：2022-09-19
- 公开(公告)号：CN115451815A 公开(公告)日：2022-12-09
- 发明人： 张谋 , 章富平
- 申请人： 上海精测半导体技术有限公司
- 申请人地址： 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
- 专利权人： 上海精测半导体技术有限公司
- 当前专利权人： 上海精测半导体技术有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
- 代理机构： 武汉蓝宝石专利代理事务所
- 代理人： 邹航
- 主分类号： G01B11/00
- IPC分类号： G01B11/00 ; G01B11/06
摘要：
本发明涉及一种支撑装置，用于测量设备光学系统，包括底部平台、光学平台、直线运动台和支撑件；光学平台设置于底部平台上方，直线运动台设置于光学平台上方；支撑件包括悬臂结构，支撑件在垂向的刚度小于在水平方向的刚度；支撑件设置于光学平台和底部平台之间和/或直线运动台和光学平台之间，以减少直线运动台在运动方向之外的位移/偏移。本发明还公开具有上述支撑装置的测量系统，其可以进而减小底部平台、光学平台和直线运动台三者之间共面度对光路指向的影响，提升直线运动台的运动时的稳定性，保证系统的测量精度。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |