基本信息:
- 专利标题： 一种HiPIMS双靶共溅射制备WS
- 申请号：CN202210706659.3 申请日：2022-06-21
- 公开(公告)号：CN115287612B 公开(公告)日：2024-05-24
- 发明人： 张平 , 孙含影 , 应普友 , 吴建波 , 黄敏 , 杨涛 , 林长红 , 弗拉基米尔.列夫琴科
- 申请人： 台州学院 , 台州学院温岭研究院
- 申请人地址： 浙江省台州市市府大道1139号
- 专利权人： 台州学院,台州学院温岭研究院
- 当前专利权人： 台州学院,台州学院温岭研究院
- 当前专利权人地址： 浙江省台州市市府大道1139号
- 代理机构： 武汉宇晨专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 董路
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/06 ; C23C14/54
摘要：
本发明公开了一种HiPIMS双靶共溅射制备WS
公开/授权文献:
- CN115287612A 一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置和方法 公开/授权日：2022-11-04