基本信息:
- 专利标题： 一种减薄机及其控制方法
- 申请号：CN202210921278.7 申请日：2022-08-02
- 公开(公告)号：CN115229591A 公开(公告)日：2022-10-25
- 发明人： 杨云龙 , 赵锋 , 孙志超 , 张天华 , 葛凡
- 申请人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
- 专利权人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 当前专利权人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
- 代理机构： 北京远智汇知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘彦伟
- 主分类号： B24B7/22
- IPC分类号： B24B7/22 ; B24B49/16 ; B24B41/06 ; B24B49/00 ; H01L21/304 ; H01L21/67
摘要：
本发明涉及晶圆减薄技术领域，公开了一种减薄机及其控制方法。减薄机包括：承片台，其上水平设置有用于吸附晶圆的吸盘；进给组件，其包括在竖直方向上呈直线设置的主轴及磨轮，磨轮固定设置在主轴上靠近晶圆的一端，主轴能够竖直向下移动，以带动磨轮竖直向下移动并抵接至晶圆；测力传感器，其设置在主轴上，测力传感器用于检测主轴施加至磨轮的磨削力F，且磨削力F与主轴在竖直方向上的下降速率fa呈幂指数关系；控制器，其与测力传感器信号连接，控制器与主轴控制连接，控制器用于根据测力传感器检测的磨削力值控制主轴在竖直方向上的下降速率fa，以使磨削力F保持为预设磨削力。该减薄机能够保证对晶圆的最终磨削效果。
公开/授权文献:
- CN115229591B 一种减薄机及其控制方法 公开/授权日：2024-02-02
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B7/00 | 适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件 |
| --------B24B7/07 | .使用固定工作台的 |
| ----------B24B7/22 | ..用于磨削无机材料，如石头，陶瓷，瓷器 |