基本信息:
- 专利标题： 双差动共焦球面曲率半径快速相对测量方法与装置
- 申请号：CN202210691667.5 申请日：2022-06-17
- 公开(公告)号：CN115143904A 公开(公告)日：2022-10-04
- 发明人： 杨帅 , 汤亮 , 赵维谦 , 邱丽荣
- 申请人： 北京理工大学
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村南大街5号
- 专利权人： 北京理工大学
- 当前专利权人： 北京理工大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村南大街5号
- 代理机构： 北京正阳理工知识产权代理事务所
- 代理人： 邬晓楠
- 主分类号： G01B11/255
- IPC分类号： G01B11/255 ; B25B11/00
摘要：
本发明公开的双差动共焦球面曲率半径快速相对测量方法与装置，属于光学精密测量技术领域。本发明在同一批被测元件中挑选一个已知曲率半径R0的元件作为样板S0，并在其共焦位置处进行扫描以获得双差动共焦光强响应曲线及其线性段拟合方程；依次装卡被测件Sn，将采集的双差动光强值映射到线性段拟合方程以实现Sn离焦量Δzn的无扫描快速测量；通过Δzn和R0计算得到被测元件的曲率半径Rn。本发明只需1次扫描和N次重复装卡即能够实现N件同批次球面元件曲率半径的快速高精度测量，相比于现有高精度曲率半径测量方法(N件被测样品需要2N次扫描)，本发明测量效率大幅度提升，有力支撑大批量球面元件的高效率、高精度加工检测。
公开/授权文献:
- CN115143904B 双差动共焦球面曲率半径快速相对测量方法与装置 公开/授权日：2023-08-11
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/24 | .用于计量轮廓或曲率 |
| ----------G01B11/255 | ..用于测量曲率半径 |