基本信息:
- 专利标题： 量子线的制造方法
- 专利标题（英）：Manufacturing method of quantum wires
- 申请号：CN97121208.2 申请日：1997-10-28
- 公开(公告)号：CN1150631C 公开(公告)日：2004-05-19
- 发明人： 乔纳森·韦斯特沃特 , 德哈拉姆·帕尔·高塞恩 , 中越美弥子 , 碓井节夫
- 申请人： 索尼株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 索尼株式会社
- 当前专利权人： 索尼株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 王永刚
- 优先权： 302512/1996 1996.10.28 JP; 325555/1996 1996.12.05 JP; 068484/1997 1997.03.21 JP; 256045/1997 1997.09.04 JP
- 主分类号： H01L33/00
- IPC分类号： H01L33/00
摘要：
制造量子线的方法，包括以下步骤：在衬底上形成具有开口的掩模；将生长线期间成为催化剂的金属蒸发到其上形成掩模的衬底上；并且在含有形成线的材料气的气氛中加热蒸发金属于其上的衬底，在衬底的开口中生长线，其中衬底作为在掩模开口中生长线的核，其特征在于由在衬底的表面上形成多个凹槽，和选择性地刻蚀凹槽的侧壁在多个凹槽的相邻的凹槽之间形成突起的步骤形成核。根据本发明的方法，可以高精度地生长线。
公开/授权文献:
- CN1181635A 衬底上量子线及其制造方法以及具有衬底上量子线的器件 公开/授权日：1998-05-13