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基本信息:
- 专利标题: 一种基于离子注入机的透射电镜试样辐照装置及控温方法
- 申请号:CN202210859531.0 申请日:2022-07-21
- 公开(公告)号:CN115019994B 公开(公告)日:2024-05-14
- 发明人: 吴璐 , 宁知恩 , 张伟 , 伍晓勇 , 温榜 , 莫华均 , 宋小蓉 , 潘荣剑 , 覃检涛 , 江艳 , 毛建军 , 张海生 , 顾剑涛 , 杨帆
- 申请人: 中国核动力研究设计院
- 申请人地址: 四川省成都市双流区长顺大道一段328号
- 专利权人: 中国核动力研究设计院
- 当前专利权人: 中国核动力研究设计院
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流区长顺大道一段328号
- 代理机构: 成都行之专利代理有限公司
- 代理人: 王鹏程
- 主分类号: G21K1/02
- IPC分类号: G21K1/02 ; G21K5/04
摘要:
本发明公开了一种基于离子注入机的透射电镜试样辐照装置及控温方法,包括光圈隔板、样品台、降温控制系统和升温控制系统,所述光圈隔板的中心处设置有贯穿的透光光圈,样通过固定组件固定在所述辐照面上;降温控制系统设置在所述样品台内,升温控制系统设置在所述样品台的一侧;本发明通过在离子束流垂直射出的方向设置一个光圈隔板,并在光圈隔板中心设置透光光圈,通过透光光圈使得分散的离子束流均与的入射至样品台上,对位于辐照面上的样品试样进行辐照;同时,通过温度控制系统对样品台的温度进行调整,实现对辐照的样品试样进行精准的温度控制。
公开/授权文献:
- CN115019994A 一种基于离子注入机的透射电镜试样辐照装置及控温方法 公开/授权日:2022-09-06
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G21 | 核物理;核工程 |
----G21K | 未列入其他类目的粒子或电磁辐射的处理技术;照射装置;γ射线或X射线显微镜 |
------G21K1/00 | 辐射或粒子的处理装置,如聚焦、慢化 |
--------G21K1/02 | .使用光阑、准直器 |