基本信息:
- 专利标题： 一种新型有序层状结构Cr/CrxN/MxOy复合阻氚涂层及其制备方法
- 申请号：CN202210652996.9 申请日：2022-06-09
- 公开(公告)号：CN115019981A 公开(公告)日：2022-09-06
- 发明人： 李和平 , 郑立雨 , 严有为
- 申请人： 华中科技大学
- 申请人地址： 湖北省武汉市珞喻路1037号
- 专利权人： 华中科技大学
- 当前专利权人： 华中科技大学
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市珞喻路1037号
- 代理机构： 武汉楚天专利事务所
- 代理人： 孔敏
- 主分类号： G21B1/11
- IPC分类号： G21B1/11 ; C25D3/04 ; C25D5/50
摘要：
本发明提供一种新型有序层状结构Cr/CrxN/MxOy复合阻氚涂层及其制备方法，该涂层由金属Cr层、金属氮化物CrxN层、阻氢氧化物MxOy三层有序复合而成。MxOy中M表示不同金属元素，包括Al、Zr、Er、Y、Cr等阻氚涂层领域常见的金属元素，且MxOy涂层可表示单元金属氧化物或者二元、三元等多元金属氧化物以及他们的混合物涂层。该复合阻氚涂层一方面增加了氚在涂层中的扩散路径，增加了涂层扩散界面，有效提高了涂层的阻氚性能，另一方面引入金属Cr层和CrxN，可与基材形成冶金结构，避免薄膜开裂和剥落，明显提高膜‑基结合力，且氮化铬可有效缓解金属氧化物与基材热失配问题，提高涂层的抗热震冲击性能。