基本信息:
- 专利标题： 一维光栅位移测量装置
- 申请号：CN202210675050.4 申请日：2022-06-15
- 公开(公告)号：CN114877811A 公开(公告)日：2022-08-09
- 发明人： 李文昊 , 刘兆武 , 吉日嘎兰图 , 尹云飞 , 王玮 , 周文渊 , 刘林
- 申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址： 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址： 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 代理机构： 长春中科长光知识产权代理事务所
- 代理人： 郭婷
- 主分类号： G01B11/02
- IPC分类号： G01B11/02
摘要：
本发明提供一种一维光栅位移测量装置，包括：激光装置、偏振分光棱镜、第一折光装置、衍射光栅、第二折光装置、探测器装置；激光装置用于发出两束线偏振光束垂直入射至偏振分光棱镜中，被偏振分光棱镜分为互相垂直的第一光束和第二光束、第三光束和第四光束；第一光束和第三光束经过第一折光装置的折射后以Littrow角度入射至衍射光栅中分别得到+1级衍射光束和‑1级衍射光束，+1级衍射光束和‑1级衍射光束再次经过第一折光装置的折射和偏振分光棱镜的反射后进入探测器装置中；第二光束和第四光束经过第二折光装置的两次反射和偏振分光棱镜的透射后进入探测器装置中。本发明提高了光栅位移测量系统的稳定性和精度，使读数头的结构更加简便。
公开/授权文献:
- CN114877811B 一维光栅位移测量装置 公开/授权日：2023-06-20
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/02 | .用于计量长度、宽度或厚度 |