基本信息:
- 专利标题： 氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法
- 申请号：CN202111676694.7 申请日：2021-12-31
- 公开(公告)号：CN114808126A 公开(公告)日：2022-07-29
- 发明人： 干川圭吾 , 太子敏则 , 小林拓实 , 大塚美雄
- 申请人： 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学
- 申请人地址： 日本长野县;
- 专利权人： 不二越机械工业株式会社,国立大学法人信州大学
- 当前专利权人： 不二越机械工业株式会社,国立大学法人信州大学
- 当前专利权人地址： 日本长野县;
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 沈娥; 张志楠
- 优先权： 2021-013095 20210129 JP
- 主分类号： C30B29/16
- IPC分类号： C30B29/16 ; C30B11/00
摘要：
本发明提供一种氧化镓晶体的制造装置以及使用该装置的氧化镓晶体的制造方法，该装置是应用了垂直布里奇曼法的晶体制造装置，其能够将炉内空间维持在特定温度，防止因坩埚的骤冷所致的晶体品质的降低，将氧化镓晶体稳定地取出到装置外。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)具备：由耐热材料(14a)构成的炉主体(14)；坩埚支承轴(16)，其沿上下方向贯通炉主体(14)的底部而在炉主体(14)内延伸设置，构成为上下移动自如；坩埚(22)，其配置在坩埚支承轴(16)上，存储氧化镓晶体的原料；主体加热器(34)，其配设在坩埚(22)的周围，对坩埚(22)进行加热；以及缓冷室(36)，其与炉主体(14)的炉内空间(15)连通地设置在炉主体(14)的下方，将坩埚(22)缓慢冷却。