基本信息:
- 专利标题： 一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置
- 申请号：CN202110031127.X 申请日：2021-01-11
- 公开(公告)号：CN114752915A 公开(公告)日：2022-07-15
- 发明人： 江南 , 邓丽芬 , 王博 , 易剑 , 李赫
- 申请人： 宁波材料所杭州湾研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 申请人地址： 浙江省宁波市杭州湾新区众创园众创一路;
- 专利权人： 宁波材料所杭州湾研究院,中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人： 宁波材料所杭州湾研究院,中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市杭州湾新区众创园众创一路;
- 代理机构： 北京元周律知识产权代理有限公司
- 代理人： 张莹
- 主分类号： C23C16/27
- IPC分类号： C23C16/27 ; C23C16/50 ; C23C16/511
摘要：
本申请公开了一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置。所述制备沉积材料的方法，包括：将原料气体经过加热方式I和加热方式Ⅱ处理，即可得到所述沉积材料；其中，所述加热方式I选自低频微波加热、火焰加热、热丝加热、直流加热中的至少一种；所述加热方式Ⅱ为高频微波加热；所述低频微波加热的频率为800MHz～2.45GHz；所述高频微波加热的频率为10GHz～340GHz。所述方法通过引入高频微波加热方式加强气体等离子能量密度，从而提高化学气相沉积速率。
公开/授权文献:
- CN114752915B 一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置 公开/授权日：2024-01-19