基本信息:
- 专利标题： 氢氟烯烃蚀刻气体混合物
- 申请号：CN202210571715.7 申请日：2014-03-28
- 公开(公告)号：CN114752386A 公开(公告)日：2022-07-15
- 发明人： G.李 , M.J.纳帕 , T-C.李 , H-C.李
- 申请人： 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司
- 申请人地址： 美国特拉华州
- 专利权人： 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司
- 当前专利权人： 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司
- 当前专利权人地址： 美国特拉华州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 王琳; 李唐
- 优先权： 61/806140 20130328 US
- 主分类号： C09K13/00
- IPC分类号： C09K13/00 ; C11D7/30 ; C23C16/44 ; C23C16/50 ; H01J37/32
摘要：
本发明涉及氢氟烯烃蚀刻气体混合物。本发明涉及用于清除CVD室中表面沉积物的氢氟烯烃组合物，还涉及使用通过在所述室内或远距室内激活气体混合物产生的活化气体混合物，从所述化学气相沉积室内部清除表面沉积物的方法，其中所述气体混合物包含氢氟烯烃。