基本信息:
- 专利标题： 多柱扫描式电子显微镜系统
- 申请号：CN202210320146.9 申请日：2018-02-02
- 公开(公告)号：CN114678245A 公开(公告)日：2022-06-28
- 发明人： R·海恩斯 , A·韦尔克 , M·纳赛尔-古德西 , J·格尔林 , T·普勒特纳
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 刘丽楠
- 优先权： 62/454,715 20170203 US 62/455,955 20170207 US 15/612,862 20170602 US
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J37/285 ; H01J9/14 ; H01J37/02 ; H01J37/05 ; H01J37/08 ; H01J37/10 ; H01J37/12 ; H01J37/14 ; H01J37/147
摘要：
本发明揭示一种多柱扫描式电子显微镜SEM系统，其包含柱组合件，其中所述柱组合件包含第一衬底阵列组合件及至少一第二衬底阵列组合件。所述系统还包含源组合件，所述源组合件包含：两个或两个以上照明源，其经配置以产生两个或两个以上电子束；及两组或两组以上多个定位器，其经配置以在多个方向上调整所述两个或两个以上照明源的特定照明源的位置。所述系统还包含经配置以固定样本的载物台，其中所述柱组合件将所述两个或两个以上电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。